央廣網(wǎng)北京8月3日消息（記者 陳越）2026年8月1日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（證券代碼：688012）在上海市臨港新片區(qū)舉行“中微大廈”落成暨公司成立22周年慶典。臨港管委會相關政府領導、股東代表、客戶代表、建筑及裝修商代表、供應商代表及行業(yè)合作伙伴等嘉賓出席活動。中微公司上海及外地共計3640余名員工通過現(xiàn)場或線上方式參與。

“中微大廈”位于臨港新片區(qū)滴水湖畔，總占地面積約25畝，建筑面積約10.5萬平方米，主樓高100米，為滴水湖科技城當前最高建筑。大廈由主樓和輔樓組成，頂層設有“天穹之窗”及400米長的巨幅LED屏，同時配備餐廳、咖啡廳和茶室等公共空間。項目按照LEED金級和綠色建筑二星標準建設，旨在打造低碳節(jié)能載體，為公司2035年實現(xiàn)碳中和目標提供基礎。園區(qū)內還設有屋頂景觀花園、員工食堂及休閑活動區(qū)域，并搭載智能化管理系統(tǒng)，以提升運營效率。

“中微大廈”全景

慶典儀式上，中微公司創(chuàng)始人、董事長兼總經(jīng)理尹志堯回顧了公司22年創(chuàng)業(yè)歷程。他表示，公司從上海張江起步，目前已經(jīng)開發(fā)出54種高端半導體設備，包括26種等離子體刻蝕機、24種薄膜設備、化學機械拋光設備和量檢測設備，刻蝕和薄膜加工精度達到原子級水平。截至2026年6月底，公司累計超過8800個反應臺在國內外220余條生產(chǎn)線上實現(xiàn)量產(chǎn)。自2012年起，公司連續(xù)14年保持年均銷售額增長35%以上，人均年銷售額達450萬元，與國際領先設備公司持平，而人均成本不到國際公司的一半，勞動生產(chǎn)率處于行業(yè)前列。

尹志堯同時介紹了公司未來發(fā)展戰(zhàn)略。中微公司正推進“有機生長”與“外延拓展”相結合的三維立體生長戰(zhàn)略，計劃五年內通過自主開發(fā)和并購覆蓋至少60%以上的半導體高端設備種類（超過100種），目標到2035年在規(guī)模、產(chǎn)品競爭力和客戶滿意度上進入全球第一梯隊。公司生產(chǎn)和研發(fā)廠房總面積預計將達到90萬平方米，年生產(chǎn)能力提升至700億元以上。公司持續(xù)踐行“五個十大”企業(yè)文化，并計劃于2027年對外出版《科創(chuàng)企業(yè)發(fā)展壯大的五個十大》一書。

臨港新片區(qū)管委會黨工委副書記吳曉華在致辭中對中微公司推動集成電路關鍵設備國產(chǎn)化及助力臨港產(chǎn)業(yè)集群建設給予肯定，并表示將繼續(xù)優(yōu)化營商環(huán)境，支持公司發(fā)展。

晚會同時舉行了“上海中微兒童公益基金會”揭牌儀式。該基金會以“自強不息，厚德載物”為精神指引，重點資助困境兒童改善生活與成長條件。中微公司近年來持續(xù)參與公益：自2021年起與上海市老年基金會合作助老項目，累計幫扶700余戶重病特困老人及家庭，員工志愿服務時長超800小時；2021年援建南昌前坊小學；2025年與仁濟醫(yī)院兒童肝移植中心、上海兒童醫(yī)學中心合作開展兒童重大疾病救助，資助了50多名肝移植特困兒童及多名白血病、惡性腫瘤和地中海貧血患兒。

中微公司表示，將繼續(xù)聚焦微觀加工高端設備領域，堅持自主創(chuàng)新與知識產(chǎn)權保護，保持高強度研發(fā)投入。2025年公司研發(fā)投入約37.4億元，占營業(yè)收入的30.2%，大幅高于科創(chuàng)板上市公司平均水平。未來三至五年，計劃累計投入約130億元用于研發(fā)，開發(fā)上百種新型高端設備。

據(jù)介紹，在業(yè)務進展方面，中微公司近期完成對杭州眾硅電子科技有限公司64.69%股權的收購（通過發(fā)行股份及支付現(xiàn)金方式），該案例成為科創(chuàng)板首單適用并購重組簡易審核程序的項目。杭州眾硅掌握12英寸高端化學機械拋光（CMP）設備核心技術并已實現(xiàn)量產(chǎn)，其產(chǎn)品與中微公司現(xiàn)有刻蝕、薄膜沉積等干法設備形成互補，進一步推動公司平臺化戰(zhàn)略。此外，公司參與設立的智微資本一期基金已基本完成投資，二期基金已籌備就緒。

隨著“中微大廈”投入使用，公司在臨港新片區(qū)“研發(fā)+生產(chǎn)+辦公”一體化格局全面形成。中微公司表示，將秉持既定戰(zhàn)略，持續(xù)推進三維立體生長，在技術、業(yè)務、業(yè)績和治理等方面實現(xiàn)高質量發(fā)展，向國際第一梯隊半導體設備公司的目標邁進。